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电子气体
电子气体:**电子气体**是一种在半导体制造、微电子器件生产等高科技领域中广泛使用的特种气体。它主要包括高纯氨气、高纯硅烷、高纯磷烷、高纯砷烷等,这些气体在超净环境中用于外延生长、化学气相淀积(CVD)、离子注入等工艺,对半导体材料的掺杂和绝缘层的形成起到关键作用。电子气体的纯度要求极高,任何微小的杂质都可能导致器件性能下降甚至失效。
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